UVW相位臺
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☉采用了劃時代性模組結構的超薄型平臺:在底座、工作臺之間裝上組合了滑臺組和特殊交叉滾柱軸承,實現了超薄型結構。
☉高剛性、高精度:高品質精磨級滾珠絲杠驅動,小導程,相同細分可達到高的分辨率級高的重復定位精度。
☉超薄型、輕量化、中空結構:中空結構設計,可作為光學式檢查裝置或導通測試器使用
☉潤滑系統:在各種運動軌道加入潤滑系統,提高對位平臺使用的壽命及精度。
☉ 產品整體機構薄且輕,內部結構緊湊,可實現同時進行X軸的平移、Y軸的平移、Z軸的旋轉??蓪崿F任意位置再運動。
☉材料皆經超深冷處理,有效預防變型,大幅提升使用壽命
產品應用:
☉ 面板貼膜
☉ 3D網版印刷
☉玻璃側角及磨邊設備
☉ Wafe對位設備
☉ P.C.D曝光設備
☉ 軟體裁切設備
☉ 半導體設備
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